Gaianixx

・PZT / SiC / GaNなどの高品質な単結晶薄膜を、材料や基板を選ばず異種材料上に形成する化合物半導体メーカー向けの中間膜。
・コアテクノロジーとなる「多能性中間膜」の成膜においては、基板と半導体膜の原子間隔のずれを駆動力に双晶型マルテンサイト変態を起こす。結晶の位置関係を保ったまま膜自体が伸縮し、そのずれを吸収する仕組み。